研究級金相顯微鏡VMX6L大行程移動工作平臺，長工作距半復消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測。

產品特點

1、VMX4L / VMX6L可以實現X、Y方向105mm-158mm的移動范圍。

2、新設計的長工作距專業金相物鏡,成像效果更桌越。

3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。

4、附件齊全,配置完善,可靈活進行系統組合與功能拓展。

5、人機工程學設計、堅實可靠的系統結構。

觀察圖實例

豐富的觀察方式，滿足您的檢測需求

DIC微分干涉觀察

在正交偏光的基礎上 , 插入DIC棱鏡，即可進行DIC微分干涉觀察。使用DIC技術 ,可以使樣品表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對比度。可匹配帶DIC功能的物鏡，使整個視場的干涉色一致，微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。

產品結構設計

安全、穩重的機架結構設計 

1、工業檢測級顯微鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，極大的提高的系統的抗振能力與成像的穩定性。

2、前置低手位粗微同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可以適應不同地區的電網電壓。

3、MX6R機型底座內部設有風循環散熱系統，長時間使用也不會使機架過熱。

高性能物鏡轉換器

1、VMX機型的轉換器采用精密軸承設計，轉動手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據MX系列機型配置及功能的不同，可以選擇不同型號的轉換器。

2、PI103C51型：明場5孔轉換器，帶DIC插槽，用于VMX4L/VMX4LT機型。

3、PI115C6BDI型：明暗場6孔轉換器，帶DIC插槽，用于VMX6L/VMX6LT機型。

不同的照明器可供選擇

1、明場反射照明器：單顆大功率5W暖色LED照明，適用于VMX4L/VMX4LT機型。

2、明場反射照明器：柯拉照明系統，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調；帶斜照明裝置，適用于VMX4L/VMX4LT機型。

3、明暗場反射照明器：帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調；帶明暗場照明切換裝置，適用于MX6R/MX6RT機型。

4、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED，  并帶有N.A.0.5聚光鏡。

5、透射照明與反射照明可獨立控制，即透反照明可同時開啟，亦可單獨開啟。

大行程移動平臺設計

1、VMX系列機型采用4〃/6〃平臺設計，不僅適用于相應尺寸的晶圓及FPD檢測，而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

2、VMX4L/VMX4LT：4英寸雙層機械移動平臺，移動范圍105mm×105mm；VMX6L/VMX6LT：6英寸三層機械移動平臺，反射照明移動范圍158mm×158

3、mm，透射照明移動范圍100mm×100mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動。

4、通過使用平臺適配接口，所有平臺可在VMX系列機型之間通用。

超長工作距金相物鏡

1、銓新設計的長工作距物鏡，采用半復消色差技術，其使用的多層寬帶鍍膜技術，使整個視場內的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。

2、長工作距設計，50X物鏡的有效工作距離7.9mm，100X物鏡的有效工作距離也達到了 2.1mm，更有20X超長工作距金相物鏡，大幅拓展了VMX機型的同步設計了全套明暗場兩用物鏡，適用于 VMX6L 機型，暗場照明亮度比傳統暗場物鏡提高 2 倍以上。

無限遠鉸鏈式三目觀察頭

1、ETTR型正像鉸鏈三目觀察頭，所成像的方位與物體實際方位一致，物體移動的方向跟像面移動的方向相同，便于使用者觀察與操作。適用于6英寸移動平臺配合使用。

2、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀察筒，適用于4英寸平臺配合使用。

3、兩種類型的觀察筒可以在VMX機型內通用。

產品技術參數