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正置金相顯微鏡VMX4L

簡要描述:正置金相顯微鏡VMX4L大行程移動工作平臺,長工作距半復消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測。

  • 更新時間:2024-04-19
  • 產品型號:VMX4L
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詳細介紹

正置金相顯微鏡VMX4L大行程移動工作平臺,長工作距半復消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測。

產品特點

1、VMX4L / VMX6L可以實現X、Y方向105mm-158mm的移動范圍。

2、全*設計的長工作距專業金相物鏡,成像效果更z越。

3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。

4、附件齊全,配置完善,可靈活進行系統組合與功能拓展。

5、人機工程學設計、堅實可靠的系統結構。

觀察圖實例/豐富的觀察方式,滿足您的檢測需求

DIC微分干涉觀察

在正交偏光的基礎上 , 插入DIC棱鏡,即可進行DIC微分干涉觀察。使用DIC技術 ,可以使樣品表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度??善ヅ鋷IC功能的物鏡,使整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。

產品結構設計

安全、穩重的機架結構設計

1、工業檢測級顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,及大的提高的系統的抗振能力與成像的穩定性。

2、前置低手位粗微同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可以適應不同地區的電網電壓。

3、MX6R機型底座內部設有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。

高性能物鏡轉換器

1、VMX機型的轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制,根據MX系列機型配置及功能的不同,可以選擇不同型號的轉換器。

2、PI103C51型:明場5孔轉換器,帶DIC插槽,用于VMX4L/VMX4LT機型。

3、PI115C6BDI型:明暗場6孔轉換器,帶DIC插槽,用于VMX6L/VMX6LT機型。

不同的照明器可供選擇

1、明場反射照明器:單顆大功率5W暖色LED照明,適用于VMX4L/VMX4LT機型。

2、明場反射照明器:柯拉照明系統,帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調;帶斜照明裝置,適用于VMX4L/VMX4LT機型。

3、明暗場反射照明器:帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調;帶明暗場照明切換裝置,適用于MX6R/MX6RT機型。

4、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED,  并帶有N.A.0.5聚光鏡。

5、透射照明與反射照明可獨立控制,即透反照明可同時開啟,亦可單獨開啟。

大行程移動平臺設計

1、VMX系列機型采用4〃/6〃平臺設計,不僅適用于相應尺寸的晶圓及FPD檢測,而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

2、VMX4L/VMX4LT:4英寸雙層機械移動平臺,移動范圍105mm×105mm;VMX6L/VMX6LT:6英寸三層機械移動平臺,反射照明移動范圍158mm×158

3、mm,透射照明移動范圍100mm×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動。

4、通過使用平臺適配接口,所有平臺可在VMX系列機型之間通用。

超長工作距金相物鏡

1、全*設計的長工作距物鏡,采用半復消色差技術,其使用的多層寬帶鍍膜技術,使整個視場內的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。

2、長工作距設計,50X物鏡的有效工作距離7.9mm,100X物鏡的有效工作距離也達到了 2.1mm,更有20X超長工作距金相物鏡,大幅拓展了VMX機型的同步設計了全套明暗場兩用物鏡,適用于 VMX6L 機型,暗場照明亮度比傳統暗場物鏡提高 2 倍以上。

無限遠鉸鏈式三目觀察頭

1、ETTR型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實際方位yi致,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于使用者觀察與操作。適用于6英寸移動平臺配合使用。

2、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀察筒,適用于4英寸平臺配合使用。

3、兩種類型的觀察筒可以在VMX機型內通用。

產品技術參數

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